1、操控:全新研發生產的高頻超聲波清洗系列,采用7寸觸摸屏控制,可設置9組用戶程序,操作簡便,零工作噪音,實現靜態超聲。
2、原理:高頻超聲能使被清洗件表面附近形成速度梯度很大且極薄的聲學邊界層,其雜質粒子受到液體兆赫頻的震蕩作用從器件表面脫落,能夠清洗掉元器件表面微米、亞微米級的雜質顆粒,實現超精密清洗過程。
3、頻率優勢:頻率涵蓋了0.5MHz、1.0MHz和1.7MHz三種頻率,高頻超聲波清洗過程由于極低的空化效應,對被清洗件表面不會產生損傷,能夠有效解決精密元器件清洗后造成的腐蝕或損傷破壞等現象。
4、應用方向:被廣泛應用于半導體制造領域,并且其除了有清洗作用外,還可以在化學機械拋光、顯影、除膠、金屬剝離、刻蝕等關鍵工藝中起到重要作用。